簡易檢索 / 檢索結果

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    使用動態光罩微影技術於單層製作3D微小元件之研究
    • 機械工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 王群智 指導教授: 鄭正元
    • 本論文主要是探討感光性材料之硬化機制並提出新的概念與方法於單層材料上製作3D微小元件。 在製程中是利用面成型加工技術,依感光性材料對不同波長有著不一樣的光敏感度之特性與自行設計鏡組來搭配平台以改變光…
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