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本論文主要是探討感光性材料之硬化機制並提出新的概念與方法於單層材料上製作3D微小元件。 在製程中是利用面成型加工技術,依感光性材料對不同波長有著不一樣的光敏感度之特性與自行設計鏡組來搭配平台以改變光…